طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی جدید تماسی خطی MEMS برای مانیتورینگ فشار تایر خودرو
Publish place: Third National Conference and First International Conference on Applied Research in Electrical, Mechanical and Mechatronics Engineering
Publish Year: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 746
This Paper With 14 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ELEMECHCONF03_0337
تاریخ نمایه سازی: 9 مرداد 1395
Abstract:
فشار مناسب در تایرهای خودرو عامل مهم و حیاتی در ایمنی سرنشینان، عملکرد مناسب موتور وسیله نقلیه می باشد به همین جهت استفاده از سیستم مانیتورینگ فشار برای تایرها در بسیاری از کشورهای جهان به صورت قانون درآمده و کلیه خودروها ملزم به دارا بودن این سیستم می باشند. یکی از مهم ترین قسمت های سیستم مانیتورینگف سنسور فشار MEMS می باشد. سنسورهای فشار MEMS خازنی تماسی به دلیل حساسیت بالا، توان مصرفی کم، نویزپذیری کم و ساختار مستحکم که موجب افزایش مقاومت سنسور در برابر بار اضافی می شود گزینه بهتری برای اندازه گیری فشار تایر می باشد. این مقاله ساختاری جدید برای سنسور خازنی تماسی ارائه می دهد. این سنسور دارای دیافراگم مربعی است. وجود جزیره بر روی دیافراگرم و حفره در سطح ویفر موجب افزایش حساسیت سنسور و افزایش نرخ خطی بودن پاسخ سنسور به تغییرات ورودی در مقایسه با ساختار قبلی سنسور تماسی شده است.
Keywords:
Authors
صادق خلیل پور امیری
کارشناس ارشد موسسه آموزش عالی صنعتی مازندران
بهرام عزیزالله گنجی
دانشیار دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :