CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

تحلیل و شبیه سازی مفاهیم مکانیکی موردنیاز در طراحی ریز چرخش سنج های MEMS

عنوان مقاله: تحلیل و شبیه سازی مفاهیم مکانیکی موردنیاز در طراحی ریز چرخش سنج های MEMS
شناسه ملی مقاله: ELEMECHCONF03_0714
منتشر شده در سومین کنفرانس ملی و اولین کنفرانس بین المللی پژوهش هایی کاربردی در مهندسی برق، مکانیک و مکاترونیک در سال 1394
مشخصات نویسندگان مقاله:

داود مکوندی - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه شهید چمران اهواز
هومان کعبی - عضو هیات علمی دانشگاه شهید چمران اهواز

خلاصه مقاله:
در این مقاله، مفاهیم مکانیکی موردنیاز در طراحی یک ریز چرخش سنج لرزشی- ارتعاشی با سه درجه آزادی، شامل دو درجه آزادی در مد تحریک و یک درجه آزادی در مد حس، ارائه شده است. نمودار تنش- کرنش، ضریب یانگ، ضریب پواسون، محاسبات ضریب الاستیه و همچنین استخراج معادلاتی برای محاسبه بیم های ساده و پیچیده. همچنین با استفاده از بیم هایی با هندسه پیچیده و بکارگیری قاب های جداکننده، ساختار مکانیکی منحصربه فردی جها طراحی یک ریزچرخش سنج yAXIS ارائه و شبیه سازی شده است. نتایج شبیه سازی از یک سو نشان دهنده دقت بالای معادلات توصیفی استخراج شده بوده است و از سوی دیگر، نشان می دهد که استفاده از قاب جداکننده و سری- موازی سازی بیم ها، باعث بهبود قابل ملاحظه خصوصیات چرخش سنج مانند مقاومت مکانیکی ساختار آن در تقابل با انتقال نوسان از یک مد به مد دیگر شده است.

کلمات کلیدی:
ریز چرخش سنج، بیم، قاب جداکننده و خطای متعامد

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/479479/