Design of 13.56 MHz Generator for Sputtering Application
عنوان مقاله: Design of 13.56 MHz Generator for Sputtering Application
شناسه ملی مقاله: ISCEE11_178
منتشر شده در یازدهمین کنفرانس دانشجویی مهندسی برق ایران در سال 1387
شناسه ملی مقاله: ISCEE11_178
منتشر شده در یازدهمین کنفرانس دانشجویی مهندسی برق ایران در سال 1387
مشخصات نویسندگان مقاله:
Masoud Baghelani - Sahand University of Technology
خلاصه مقاله:
Masoud Baghelani - Sahand University of Technology
RF sputtering is one of the most spread and utilized methods for thin film deposition in microelectronics and ma terial science. By means of
capacitive coupled RF power to sputtering chamber, it is possible to discharge the gas and achieve a bias high voltage for ion acceleration. A 13.56 MHz RF generator is designed. Its oscillator, pre- and power amplifier stages are described. A matching network is used to transfer the maximal generated power to the plasma.
کلمات کلیدی: sputtering, RF sputtering, plasma, power amplifier, oscillator, matching network
صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/48851/