ضرغام اسداللهی - مرکز تحقیقات هسته ای کرج
پروین بلاش آبادی - مرکز تحقیقات هسته ای کرج
عبدالجواد نوین روز - مرکز تحقیقات هسته ای کرج
محمد رضا قاسمی - مرکز تحقیقات هسته ای کرج

دستگاه کندوپاش مغناطیسی با دوتارگت جهت تهیه لایه های نازک چند پشته به ویژه لایه های نازک جاذب انرژی خورشیدی (سرمت) طراحی و ساخته شد . این دستگاه از اجزاء و قسمت های مختلفی شامل محفظه استوانه ای و تجهیزات آن، دو تارگت استوانه ای (کاتد) و تجهیزات مربوط به آن و نگهدا رنده زیر لایه و اجزاء آن تشکیل شده است. محفظه خلاء استوانه ای از جنس فولاد زنگ نزن با طول 650 و قطر داخلی 550 میلی متر است . این سیستم لایه نشانی شامل دو تارگت استوانه ای به طول 550 و قطر 50 میلیمتر میباشد که به طور مستقل عمل می کنند. داخل هر تارگت لوله ای، آهنرباهائی دائمی حلقوی شکل با شدت میدان مغناطیسی 290 گوس قرار دارند . در طی عمل لایه نشانی زیر لایه ها روی نگهدارنده نصب میگردند و برای تشکیل پوشش های یکنواخت زیرلایه ها به دور محور محفظه می چرخند . چرخش نگهدارنده زیرلایه ها توسط موتوری با دور متغیر و قابل تنظیم (18-3 دور در دقیقه) انجام میگیرد . جهت تغذیه سیستم پراکنش از دو منبع تغذیه با ورودی سه فاز برق شهر و خروجی DC منفی با ولتاژ قابل تنظیم 1000V- و جریان حداکثر 12A آمپر استفاده میشود. طراحی منبع تغذیه مخصوص محیط پلاسما بوده و به گونه ای است که در موقع عمل لایه نشانی دارای پایداری در توان بالا و ثبات ولتاژ خروجی در حین کار و عملکرد مناسب در مقابل جریان های لحظه ای شدید است . چند لایه های نازک آلومینیم و مس روی زیرلایه های شیشه ای در فشا ر 1 پاسکال و جریان کاتد 4 آمپر و ولتاژ کاتد 600 ولت انباشت شده است . آنالیزهای پراش اشعه ایکس (XRD) و میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) برای تعیین فازهای کریستالی و مطالعه مرفولوژی لایه ها مورد استفاده قرار گرفته است . پروفایل عناصر توسط دستگاه اسپکتروسکوپی نشری تخلیه نورانی (GD-OES) تعیین گردیده است.