مروری بر کنترل روش های فرآیندخودمونتاژی با استفاده ازلحیم در سیستم های میکروالکترومکانیکی

با پیشرفت روزافزون تکنولوژی نیاز به قطعات الکترونیکی و مکانیکی یا ابعاد کوچکتر پژوهشگران و محققان را به سمت سیستم‌های میکروالکترومکانیکی سوق داده است. نکته قابل توجه در به کارگیری این سیستم‌ها اهمیت نیروهایی نظیر واندروالسی، کشش سطحی و الکترواستاتیک در مقایسه با نیروی گرانش است. ساخت و مونتاژ قطعات با ابعاد میکرون همواره دارای مشکلاتی نظیر چگونگی مونتاژ و هم‌محور نمودن قطعات در ابعاد میکرونی است. در مونتاژ قطعات MEMS سه بعدی از تکنولوژی جدیدی که در آن از نیروی چسبندگی کشش سطحی بهره می‌گیرد، برای مونتاژ این قطعات استفاده می‌کنند. در این فرآیند می‌توان صدها یا حتی هزاران مونتاژ دقیق را با هزینه و زمان بسیار کم به صورت همزمان انجام داد. قطعات MEMS که به این روش مونتاژ می‌شوند را می‌توان به دو دسته کلی ساختمان تک مفصل و چند مفصل تقسیم بندی کرد. تحقیقات انجام گرفته بر ساختمان‌های تک مفصل نشان می‌دهد که عملیات مونتاژ تحت زوایای کنترل شده ای انجام می‌پذیرد و تحقیقات بر دسته بندی دوم و یا به عبارتی ساختمان‌های چند مفصل حاکی از آن است که در مونتاژ این قطعات MEMS پارامترهای زیادی از قبیل مکانیزم های متصل کننده، ساختمان گیره ها، نحوه بستن گروهی و ... دخیل است. در این پژوهش چگونگی خودمونتاژی ساختمان‌های تک مفصل به وسیله لحیم، عملکرد و پارامترهای دخیل در این روش مورد بررسی و تحلیل قرار گرفته است.‌

Keywords:

سیستمهای میکرو الکترو مکانیکی , خود مونتاژی , لحیم , قطعات سه بعدی