یونس بخشان
محمد حسن طرزمی

با توجه به مزایای متعدد استفاده از سیستمهای میکروالکترومکانیکی (MEMS) تحلیل جریان عبوری از این سیستمها در سالهای اخیر بهشدت مورد توجه قرار گرفته است. در این تحقیق، جریان سیال گازی در یک میکروکانال پلهگذاری شده با استفاده از روش شبیهسازی مستقیم مونت کارلو - (DSMC) مورد بحث قرار گرفته است. محدوده وسیعی از اعداد نادسن( kn ( جهت بررسی رژیمهای مختلف جریان بحث شده است. در این تحقیق از شرایط مرزی فشار ثابت استفاده شده است.افت فشار در رژیمهای مختلف جریان بررسی شده و نمودارهای آنها رسم شده است و نتایج بهدست آمده با نتایج مقالات دیگرکه از روشهای آزمایشگاهی و عددی بهدست آمده اند، مقایسه شده است و این مقایسه، تطابق خوبی را با نتایج بهدست آمده نشان میدهد. نمودارهای رسم شده نشان میدهد که پلهگذاری باعث افزایش افت فشار کلی و افت فشار شدید در طول پله درطول کانال میشود که افزایش انتقال حرارت را در پی دارد.

میکروکانال، مونت کارلو، شبیهسازی، سیستمهای میکروالکترومکانیکی