طراحی و ساخت حسگر گاز لایه نازک اکسید قلع با کمک امواج فرا صوت
Publish place: 14th Iranian Conference on Electric Engineering
Publish Year: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,405
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE14_316
تاریخ نمایه سازی: 25 تیر 1387
Abstract:
در این مقاله یک روش جدید لایه نشانی برای ساخت حسگرهای گاز لایه نازک اکسید قلع ارائه شده است. برای ساخت لایه های نازک اکسید قلع، از محلول کلرید قلع به عنوان ماده اولیه و از شیشه به عنوان پایه در دمای 400 درجه سانتیگراد استفاده شد. در این روش از امواج فرا صوت برای تبخیر محلول کلرید قلع در دمای اتاق استفاده گردید. پس از رشد لایه مورد نظر، عملیات ترمیم حرارتی به مدت 3 ساعت در دمای 500 درجه سانتیگراد بر روی نمونه ها صورت گرفت. حساسیت این حسگر نسبت به دود کاغذ و با غلظت های ppm 500-400 در دمای اتاق تا 300 درجه سانتیگراد اندازه گیری شد. در این تحقیقات نتیجه گیری شد که نمونه های بدست آمده در این روش، در مقایسه با نمونه های قبلی دارای حساسیت بسیار بیشتری (در حدود 10 الی 15 برابر) نسبت به دود کاغذ می باشد.
Keywords:
Authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :