المیرا کریمی - کارشناسی ارشد مهندسی مکاترونیک گروه مهندسی مکانیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد تبریز
فاطمه محرمی - کارشناسی ارشد مهندسی مکاترونیک گروه مهندسی مکانیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد تبریز
امیر حسین دائی سرخابی - استادیار گروه مهندسی مکانیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد تبریز

به طور معمول محرکه های حرارتی الکترواستاتیکی پیزوالکتریک و آلیاژهای حافظه دار از ابزارهای مورد استفاده در تکنولوژی MEMS می باشند مهم ترین مواد پیزوالکتریک استفاده شده در فناوری MEMS شامل سرامیک های زیرکونات تیتانیوم زینک اکساید کوارتز PVDF و ... است وقتی مواد پیزولکتریک توسط ولتاژ تحریک می شوند ساختار مشبک نامتقارشان در جهت طول عرض و ضخامت کرنش ایجاد می کنند مواد پیزوالکتریک به دلیل داشتن ویژگی های مکانیکی و الکتریکی از اهمیت بالایی برخوردارند دو ویژگی اصلی این ماده هوشمند اثر مستقیم و وارون می باشند که تبدیلی بین کارمایه های الکتریکی و مکانیکی هستند اثر مستقیم توانایی تولید شارز الکتریکی متناسب با نیروی خارجی است در برابر آن بر پایه اثر وارن می توان با وارد کردن یک میدان الکتریکی در ماده پیزوالکتریک تغییر شکل ایجاد نمود محرکه های پیزوالکتریک از مزایای تولید نیروی بزرگ چگالی توان بالا بازدهی بالا در تبدیل انرژی الکتریکی و مکانیکی به یکدیگر و حساس نبودن به حرارت برخوردارند در حالیکه جابجایی اندکی تولید می کنند

تکنولوژی MEMS،میکرو محرکه،محرکه پیزوالکتریک،تیر کانتیلور