بهمن خرمی مخوری - کارشناس ارشد، دانشگاه صنعتی اصفهان، دانشکدهی مهندسی مواد
علی شفیعی - عضو هیأت علمی دانشگاه اصفهان، دانشکدهی مهندسی مواد

در این مقاله، تأثیر دمای پوششدهی بر روی خواص پوششهای TiN بررسی گردیده است. زیرلایه فولاد گرمکار 13H می باشد و پوشش TiN با استفاده از روش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما ) PACVD ( بر روی زیرلایه ایجاد گردیده است. دمای پوششدهی بر روی برخی خواصمکانیکی پوشش TiN تأثیر میگذارد. پوشش TiN با استفاده از گازهای 4TiCl ، 2H ، 2N و Ar ایجاد میگردد. فشار ورودی گازها به ترتیب برابربا 0.1 ، 1.6 ، 2.5 و 0.6 میلی بار می باشد. نمودار )سرعت جوانه زنی( ln بر حسب دمای پوششدهی برای تعیین انرژی اکتیواسیون پوشش TiN به کار میرود. مشخصهیابی پوشش TiN با استفاده از SEM, AFM, XRD و سختی سنجی صورت پذیرفت. نتایج SEM نشان داد که اندازهی ذرات TiN تابع دمای زیرلایه در هنگام پوششدهی میباشد. اندازهی ذارت TiN با افزایش دمای زیرلایه افزایش مییابد. دمای زیرلایه تأثیر مستقیمی بر روی ضخامت پوشش، مورفولوژی سطح و سختی دارد. بیشترین سختی مربوط به پوششی است که دارای ساختار ریزتر می باشد

PACVD ، پلاسما، فولاد گرمکار