بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی
Publish place: The 13th scientific conference of students of material engineering and metallurgy of Iran
Publish Year: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 513
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
SCMEMI13_233
تاریخ نمایه سازی: 6 بهمن 1395
Abstract:
امروزه نیترید تانتالوم به دلیل خواص بسیار مطلوبی که دارد، استفاده زیادی در صنعت پیدا کرده است. به دلیل دیرگداز بودن این فلز، بهترین راه برای ایجاد لایههای نازک از ترکیبات آن، استفاده از روش کندوپاش است. اما به دلیل تنوع فازی که در سیستم تانتالوم- نیتروژن وجود دارد،پوششهای نیتریدی تولید شده با این روش، گستره وسیعی از خواص مکانیکی را نشان میدهد. دراین پژوهش، با تغییر میزان نیتروژن در گازورودی به محفظه لایهنشانی، پوششهای مختلف ایجاد و خواص مکانیکی آن با استفاده از روش سختی سنجی نانو اندازه گیری شده و از آنالیز اشعه ایکس و میکروسکوپ الکترونی روبشی جهت مشخصه یابی فیلمهای نازک نیترید تانتلوم استفاده شد. در نتیجه این پژوهش مشخص شد که با افزایش درصد نیتروژن در گاز ورودی به محفظه لایه نشانی، نیترید تانتالوم از γ-Ta2N بهε-TaN و سپس به δ-TaN تغییر فاز داده که این موضوع سبب کاهش سختی و افزیش انرژی جذب شده در اثر تغییر فرم پلاستیک خواهد شد
Keywords:
Authors
سیدسیاوش فیروزآبادی
دانشجوی مقطع دکتری دانشگاه امیرکبیر
ژینا رزاقی
دانشجوی مقطع کارشناسی دانشگاه امیرکبیر
کامران دهقانی
دانشیار دانشگاه امیرکبیر
مالک نادری
استادیار دانشگاه امیرکبیر
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :