مهدیه یاری اسبویی - دانشگاه گلستان
یدالله هزارجریبی - دانشگاه گلستان
بهرام عزیزالله گنجی - دانشگاه نوشیروانی بابل

این مقاله طرحی جدید از سنسورفشار خازنی با تکنولوژی ممز را که دارای حساسیت زیاد و اندازه ی کوچک است ارائه می دهد. سنسور عنوان شده برای اندازه گیری فشار داخل چشمی در رنج 60-0 میلیمتر جیوه است که برای درمان بیماران گلوکوما استفاده می شود، اندازه ی این سنسور 300x300 میکرومتر مربع است و دارای دیافراگم و صفحه ی متحرک جدا از هم می باشد که به کمک یک کوپلینگ مکانیکی به هم وصل شده اند. دیافراگم با ضخامت 1 میکرومتر و از جنس پلیماید است. دو صفحه که الکترودهای خازن را تشکیل می دهندو کوپلینگ مکانیکی از جنس طلا می باشند. این ساختار توسط نرم افزار اینتلسوییت طراحی شده و با توجه به نتایج شبیه سازی، حساسیت سنسور طراحی شده (3-)3/766x10؛ (1-)(پاسکال) و حساسیت مکانیکی دیافراگم (10-)1/79x10 (متر با کارهای انجام شده قبل دارای اندازه کوچکتر و حساسیت بیشتر و پاسخی خطی تر است.

گلوکوما , سنسور فشار خازنی ممز , پلیماید , کوپلینگ مکانیکی , حساسیت