بررسی رفتار نیرو - جابه جایی در میکروکانتیلور اویلر برنولی از جنس پلیمر SU-8

از جمله مواد رایج در ساختار های میکرو ونانوالکترو مکانیکی میتوان به پلیمرها اشاره نمود پلیمر هایمواد نرک هشتند که از آنها درساختارهای میکرونی به عنوان عضو عملگرد یا عضوحسگر استفاده میشود از جمله ادوات رایج در حسگرهای میکرومتری میتوان به میکروکانتیلورها اشاره نمود در این پژوهش رفتار یک میکروکانتیلور از جنس پلیمر SU-8 به روش المان محدود مدل سازی شد و تاثیر اعمال نیرو به نقاط مختلف میکروکانتیلور بر ماکزیمم میزان جابه جایی انتهای آن بررسی شد نتایج حاکی از آن است که با اعمال نیرو در نقاط دورتر از انتهای گیردار میکروکانتیلور میزان جابهجایی درنوک آن افزایش پیدا میکند در انتها نتایج این شبیه سازی با نتایج آزمایشات تئوری و تجربی مقایسه شدند که تطابق خوبی بین آنها بر قرار بود

Keywords:

میکرو کانتیلور , المان محدود , پلیمرSU-8 , نیرو - جابه جایی