تحلیل المان محدود پدیده Pull-in تیر یکسر درگیر تحت الکترواستاتیکی

یکی ازمهمترین پدیده ها در میکروتیرهای الکترواستاتیکی که توجه محققان را به خود جلب کرده است ناپایدار ی Pull-inمیباشد این پدیده در رفتار سازه تاثیر بسزایی دارد بطوریکه در میکرو محرک ها حد ولتاژ اعمالی را محدود میکند در این پژوهش به بررسی اثر سایز ولتاژ Pull-in تیر یکسر در گیر به روش المان محدود پرداخته شد برای تحلیل الکترواستاتیکی - مکانیکی که جز میدان های کوپله مجسوب میشود یک بار از روش غیر مسقیم و بار دیگر از روش مستقیم استفاده شد و نتایج بدست آمده با نمونه داده های تئوری و تجربی مقایسه گردید با توجه به در نظر گرفتن اثر کوپلینگ الکتریکی و مکانیکی در روش مستقیم نتایج بدست آمده در این روش از دقت بیشتری برخوردار است همچنین در ادامه این پژوهش میکروتیر مورد بررسی قرار گرفت نتایج نشان میدهد زمانی که میکروتیر با لایه آلومینوم پوشش دهی میشود انعطاف پذیری بیشتری نسبت به میکرو تیر پوشش دهی شده با لایه مسی دارد و این امر سبب کاهش ولتاژ Pull-in میگردد

Keywords:

میکروتیر یک سردرگیر , Pull-in , المان محدود , سیستم های میکرو الکترومکانیک , انحراف