تحلیل ارتعاشات غیر خطی میکرورزنانورها با در نظر گرفتن تئوری کوپل تنش اصلاحی

دراین مقاله به بررسی رفتار دینامیکی و پاسخ ارتعاشی میکرورزوناتوری که شامل یک میکروپل دو سر گیردار غیر خطی با جرم گواه در وسط است پرداخته میشود میکرورزوناتور تحت میدان الکترواستاتیک راه اندازی میگردد به گونه ای که با ولتاژ مستقیم نقطه تعادلی مشخصی پیدا نموده و سپس تحت ولتاژ متناوب به ارتعاشات واداشته میشود در مدلسازی به دلیل نقش مهم اثرات وابسته به ابعاد در تحلیل عملکرد سیستم های میکروالکترومکانیک از تئوری های وابسته به ابعاد میکروسازه ها استفاده میشود میشود معادلات حاکم بر حرکت با در نظر گرفتن تئوری کوپل تنش اصلاحی و اثر کشیدگی لایه بدست می آید و سپس این معادلات با روش گالرکین کاهش یافته و از طریق رو ش های تحلیلی اغتشاشات و عددی رانگ کوتا حل میگردد در ادامه پاسخ های عددی و تحلیلی بدست آمده با یکدیگر مقایسه و صحه گذاری میشود در بررسی نتایج اثرات پارامترهای مختلف طراحی سیستم که مرتبط با عوامل غیر خطی کشیدگی لایه میانی و پارامتر بی بعد مقیاس طول هستند بررسی خواهد شد

Keywords:

ارتعاشات غیر خطی , کشیدگی لایه میانی , میکرورزوناتور , تئوری کوپل تنش اطلاحی , روش مقیاس های چند گانه