تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه
عنوان مقاله: تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه
شناسه ملی مقاله: NCV03_004
منتشر شده در سومین کنفرانس ملی خلاء در سال 1386
شناسه ملی مقاله: NCV03_004
منتشر شده در سومین کنفرانس ملی خلاء در سال 1386
مشخصات نویسندگان مقاله:
حسن بیدادی - گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک
مجتبی پرهیزگار
فرامرز هادیان
صبا خداکریمی
خلاصه مقاله:
حسن بیدادی - گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک
مجتبی پرهیزگار
فرامرز هادیان
صبا خداکریمی
در این کار تجربی لایه های نازکی از تیتانیوم با استفاده از دستگاه کندوپاش مگنترونی تحت شرایط متفاوت بر روی زیر لایه های شیشه ای تهیه و تأثیر چهار پارامتر مهم دما ی زیرلایه، فشار گاز کاری (آرگن)، انرژی یون های تولید شده در پلاسما و فشار پایه بر روی چسبندگی این لایه ها به زیرلایه های شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است . نتایج حاصله نشان می دهد که چسبندگی لایه های نازک تیتانیومی به زیرلایه های شیشه ای با افزایش دمای زیرلایه افزایش ، با افزایش فشار پایه افزایش و با افزایش فشار گاز آرگن کاهش پیدا می کند . افزایش انرژی یونهای فرودی نیز موجب افزایش چسبندگی لایه ها به زیرلایه می گردد . همچنین علل تغییرات مشاهده شده در چسبندگی در اثر افزایش دمای زیرلایه، فشار گاز آرگن ، انرژی یونهای فرودی و فشار پایه مورد بحث قرار گرفته است.
صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/57226/