بهمن خرمی - کارشناسی ارشد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی اصفهان
علی شفیعی - استاد، دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی اصفهان

در این پژوهش تاثیر فرآیند پوششدهی به وسیلهی روشهای PACVD و نیتراسیون پلاسمایی بر روی برخی خواص ریزساختاری زیرلایه مورد مطالعه و بررسی قرار گرفته است. پوشش تیتانیمنیترید در دمای ℃ 510 بر رویزیرلایهی فولاد 13H ایجاد گردید. گازهای واکنشگر 4TiCl ، 2N ، 2H و Ar با فشار به ترتیب 1 / 0 ، 5 / 2 ، 5 / 1 و rmba 5 / 1 برای ایجاد پوشش تیتانیومنیترید مورد استفاده قرار گرفتند. فرآیند نیتراسیون پلاسمایی در دمای ℃ 500 و درشرایطی صورت پذیرفت که نسبت گازی N2N2+H2 برابر با 15 % بود. مشخصهیابی پوششهای ایجاد شده بر رویزیرلایه بوسیلهی میزان ضخامت پوشش، میکروسختیسنجی، ترکیب فازی و مورفولوژی سطح پوششها مورد ارزیابی قرار گرفت. بررسیهای زبری سطح نشان داد که زبری سطح) Ra ( در روش نیتراسیون پلاسمایی برابرnm130 و در روش PACVD برابر با nm30 میباشد. سختی پوشش تیتانیوم نیترید برابر با 1300 ویکرز میباشد در حالی که سختی سطح زیرلایه بعد از نیتراسیون پلاسمایی برابر با 1200 ویکرز میباشد

PACVD ، تیتانیم نیترید، نیتراسیون پلاسما، گازهای واکنشگر