MEMS

ریشه ی بسیاری از تحولات شگرف جوامع انسانی امروز و از جمله خلق جوامع مجازی (سایبری) و به تبع آن، از بینرفتن مرزهای فیزیکی و جغرافیایی، تغییر موقعیت های شغلی و تجاری وتحول در شیوه ی کسب و کار و سایر تحولاتعلمی و اقتصادی را باید در توسعه ی علوم مختلف بیابیم. رابطه ی چرخه ای بین علوم پایه و فناوری های نوین انکارنکردنیهست و ایجاد ارتباط صنعت های مختلف از رموز توسعه علم می باشد.در این مقاله که، فناوری MEMS (سیستم های میکروالکترومکانیکی) به عنوان امیدبخش ترین و دارای ویژگی ها منحصر بهفرد که در قرن 21 پتانسیل آن را دارد شناخته میشود. این فناوری نو برای تغییرات اساسی در صنعت و زندگیروزمره تکنولوژی ساخت تراشههای مدارمجتمع را در سطح بالاتری قرار میدهد. ممز با ترکیبشدن میکروالکترونیک و بااستفاده از انواع تکنولوژی میکروماشین کاری بر روی سطح سیلیکن ساخته میشوند. هنوز سه دهه از ساخت تکنولوژیسیستم های میکروالکترومکانیکی نگذشته که این سیستم و به خصوص سنسورها و محرک های میکروماشین کاری شده بهسرعت وارد عرصه ی صنعت شده اند. استفاده از سیلیکن با توجه به قیمت آن و خصوصیات منحصر به فردش اش باعثشده که این ماده در کاهش فضای لازم برای ادوات و عدم محدودیت آن به دلیل داشتن سایز کوچک و قابلیت اطمینانبالایش، کاربرد آن را به عنوان ماده اصلی در ساخت این سیستم های هوشمند متمایز کند. این تکنولوژی را به یک انقلاب وتحول عظیم در عرصه ادوات اندازه گیری و محرک ها تبدیل نماید. با پیشرفت تکنولوژی امروزه دارا بودن و تجهیز کردنکلیه ی سیستم ها و لوازم با دقت بالاتری در زمینه هایی از جمله الکترونیک و مکانیک وکامپیوتر تا علوم فیزیک و ریاضی وهمچنین در عرصه ی پزشکی و کشاورزی و سایر علوم این نیاز را برای تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است. بعد ازآشنایی با این تکنولوژی نو، اصول ساخت، گونه های تلفیقی آن با سایر علوم را مورد بررسی قرار می دهیم.

Keywords:

, MEMS , فناوری , سیستم های الکترومکانیکی , ماشین کاری , تکنولوژی , سیلیکن