هاله کنگرلو - گروه فیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد ارومیه ، انجمن پژوهش بانوان

لایه های نازک تیتانیوم به روی زیر لایه شیشه به روش تبخیر حرارتی تهیه شده و سپس با استفاده از کوره آنیل و حضور فلوی اکسیژن در دماهای مختلف اکسید تیتانیوم تهیه شد . در نهایت با استفاده از روشهای آنالیز RBS (برای تعیین ضخامت لایه های تیتانیوم) ، AFM (برای بررسی توپوگرافی سطح و چگونگی اکسید شدن لایه ها) و XRD (برای تعیین فازها و ترکیبات مختلف ساختاری مانند فاز آناتاس و روتایل و یا ترکیبی از آنها) به بررسی کیفی و کمی لایه ها مورد مطالعه قرار گرفت.

آنیل ، AFM ، RBS ، XRD و نانو ساختار