بررسی خواص نانو ساختاری ذرات TiO2 بر روی زیر لایه های مختلف سیلیکان
عنوان مقاله: بررسی خواص نانو ساختاری ذرات TiO2 بر روی زیر لایه های مختلف سیلیکان
شناسه ملی مقاله: NAYRC01_092
منتشر شده در همایش ملی نانو مواد و نانو تکنولوژی در سال 1388
شناسه ملی مقاله: NAYRC01_092
منتشر شده در همایش ملی نانو مواد و نانو تکنولوژی در سال 1388
مشخصات نویسندگان مقاله:
فرشته جوانی جونی
سعیده رمضانی ثانی
عبدا... مرتضی علی
خلاصه مقاله:
فرشته جوانی جونی
سعیده رمضانی ثانی
عبدا... مرتضی علی
دراین تحقیق نانو ذرات TiO2 به روش تبخیر حرارتی بر روی زیر لایه های سیلیکان و سیلیکان متخلخل لایه نشانی شد. بعد از لایه نشانی نمونه ها بازپخت شدند که نتایج بازپخت نمونه ها بر حسب دمای بازپخت و آهنگ سرد شدن تغییرات قابل ملاحظه ای در روند رشد و ابعاد نانو ذرات از خود نشان میدهد.
کلمات کلیدی: نانو ذرات- TiO2 - تبخیر حرارتی– سیلیکان متخلخل
صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/60491/