فرشته جوانی جونی
سعیده رمضانی ثانی
عبدا... مرتضی علی

دراین تحقیق نانو ذرات TiO2 به روش تبخیر حرارتی بر روی زیر لایه های سیلیکان و سیلیکان متخلخل لایه نشانی شد. بعد از لایه نشانی نمونه ها بازپخت شدند که نتایج بازپخت نمونه ها بر حسب دمای بازپخت و آهنگ سرد شدن تغییرات قابل ملاحظه ای در روند رشد و ابعاد نانو ذرات از خود نشان میدهد.

نانو ذرات- TiO2 - تبخیر حرارتی– سیلیکان متخلخل