شبیه سازی گیج خلاء یونی با نرم افزار comsol و بهبود حساسیت آن
عنوان مقاله: شبیه سازی گیج خلاء یونی با نرم افزار comsol و بهبود حساسیت آن
شناسه ملی مقاله: COMCONF04_364
منتشر شده در چهارمین کنفرانس بین المللی مهندسی برق و کامپیوتر در سال 1395
شناسه ملی مقاله: COMCONF04_364
منتشر شده در چهارمین کنفرانس بین المللی مهندسی برق و کامپیوتر در سال 1395
مشخصات نویسندگان مقاله:
صادق محمدزاده بازارچی - گروه برق, دانشکده فنی, دانشگاه ارومیه, ایران
ابراهیم عباسپورثانی - دانشیارگروه برق, دانشکده فنی, دانشگاه ارومیه, ایران
خلاصه مقاله:
صادق محمدزاده بازارچی - گروه برق, دانشکده فنی, دانشگاه ارومیه, ایران
ابراهیم عباسپورثانی - دانشیارگروه برق, دانشکده فنی, دانشگاه ارومیه, ایران
گیج خلاء یونی کاتد گرم یکی از گیج های خلاء مهم در اندازه گیری فشار خیلی کم یا خلاء خیلی خیلی زیاد UHV می باشد. این گیج ده ها سال است که برای اندازه گیری خلاء تا 10−13
کلمات کلیدی: یونیزاسیون,گیج خلاء یونی کاتد گرم, گیج خلاء بایارد آلپرت, میکروماشین, comsol , mems , cpt
صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/609234/