کنترل ارتعاشات تیرمیکروی یکسر گیردار میکروسکوپ نیروی اتمی بوسیله پیزوالکتریک

میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM)،یکی از انواع مهم میکروسکوپهای روبشی کاوشی است. مهمترین قسمت این میکروسکوپ، کاوشگر آن بوده. ارتعاشات کاوشگر تاثیر بسیاری بر کیفیت تصاویر حاصله دارد و همچنین باعث صدمه دیدن نانوشئها و سوزن میکروسکوپ شده است. در این تحقیق ، پس از مدلسازی کاوشگر به روش اجزای محدود، به کنترل ارتعاشات کاوشگر به کمک کنترلر LQR پرداخته شده است.کاوشگر به صورت تیری یکسر گیردار با سطح مقطع یکنواخت مستطیل شکل در نظر گرفته شده که به اندازه ی سطح زیری آن ، پیزوالکتریکی متصل شده و کار عملگر کنترلر را انجام داده است.

Keywords:

میکروسکوپ نیروی اتمی , کنترل فعال ارتعاشات , مواد پیزوالکتریک , اجزای محدود