علی حاتمی ملکی - دانشجوی کارشناسی ارشد، واحد تبریز، دانشگاه آزاد اسلامی، تبریز، ایران
محمد فتحعلی لو - استادیار، دانشگاه ارومیه، ایران

در این مقاله به بررسی تاثیر تنش کوپل بر روی پاسخ فرکانسی میکرورزوناتورهای الکترواستاتیکی پرداخته شده است.با توجه به اهمیت طراحی دقیق در میکرو رزوناتورها، باید از تیوریهای غیر کلاسیک الاستیسیته برای مدل سازی رفتار مکانیکی آنها استفاده نمود. تیوری کلاسیک الاستیسیته به دلیل در نظر نگرفتن ریز ساختار داخلی ماده قادر به پیش بینی رفتار وابسته به اندازه نیست. این رفتار موقعی بروز پیدا میکند که ابعاد تیر قابل مقایسه با پارامتر مشخصه- ی طولی مادهی تیر باشد. در مقاله حاضر از تیوری تنش کوپل به عنوان یک تیوری غیر کلاسیک برای این منظور استفاده شده است. پس از استخراج معادلهی حاکم بر خیز استاتیکی و ارتعاشات میکروتیر رزونانسی با در نظر گرفتن تیوری تنش کوپل، روشهای عددی مبتنی بر روش گالرکین جهت حل معادلات مورد استفاده قرار گرفتهاند. نتایج نشان دادند که در نظر گرفتن تیوری تنش کوپل باعث افزایش فرکانس رزونانسی سیستم و کاهش دامنه ارتعاشات آن و در نتیحه شیفت نمودارهای پاسخ فرکانسی به سمت راست میشوند. با توجه به گسترش روزافزون کاربرد میکرو و نانو رزوناتورها در تکنولوژی مدرن، نتایج حاصل از این تحقیق میتواند در طراحی، مدل سازی، ساخت و آنالیز دقیق رفتار این سیستمها بسیار موثر باشد.

پاسخ فرکانسی، میکرو رزوناتور، تنش کوپل