Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings
Login |Register |Help |عضویت کتابخانه ها
Paper
Title

طراحی و شبیه سازی سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی سه غشایی

Year: 1395
Publish place:

COI: NCTAE01_124
Language: PersianView: 227
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download
محتوای کامل این Paper با فرمت WORD هم قابل دریافت می باشد.

Buy and Download

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این Paper را که دارای 9 صفحه است به صورت فایل PDF و یا WORD در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

Authors

حسن کمالی - دانشجو گروه الکترونیک، دانشکده فنی مهندسی، واحد بندرعباس، دانشگاه آزاد اسلامی، بندرعباس، ایران
فرشاد بابازاده - استادیار گروه الکترونیک، دانشکده مهندسی برق، واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران

Abstract:

در این مقاله یک سنسور فشار تشدیدی سه غشایی که در مد موجی ارتعاش می کند گزارش می شود. این سنسور از جنس سیلیکون بوده و براساس تکنولوژی MEMS طراحی شده است. مد موجی نسبت به اعمال فشار حساس بوده و براساس فشار اعمالی به آن فرکانس ارتعاش اش جابجا می شود. ابعاد کلی ساختار سنسور سه غشایی 400μm × 20μm × 20μm، ابعاد سه غشاء 200μm × 2μm × 20μm و ابعاد تیر نگهدارنده 20μm×1μm×1μm در نظر گرفته شده است. میزان جابجایی فرکانسی برای سه غشایی بدون تیر نگهدارنده برای مد دهم از 0/5 مگا هرتز کمتر می باشد. در فرکانس تشدید MHz 101 سنسور سه غشایی بدون تیر نگهدارنده، دوغشاء کناری جابجایی برابر 2/8MHz و غشاء وسط 3/4MHz جابجایی فرکانسی تحت اعمال فشار دارد.

Keywords:

Paper COI Code

This Paper COI Code is NCTAE01_124. Also You can use the following address to link to this article. This link is permanent and is used as an article registration confirmation in the Civilica reference:

https://civilica.com/doc/622420/

How to Cite to This Paper:

If you want to refer to this Paper in your research work, you can simply use the following phrase in the resources section:
کمالی، حسن و بابازاده، فرشاد،1395،طراحی و شبیه سازی سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی سه غشایی،اولین همایش ملی فن آوری در مهندسی کاربردی،Tehran،https://civilica.com/doc/622420

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :

  • Lin YW, Lee S, Li SS, Xie Y, Ren Z, ...
  • Nguyen CTC, MEMS technology for timing and frequency control. IEEE ...
  • Hao Z, Pourkamali S, Ayazi, F VHF single-crystal silicon elliptic ...
  • Zuo C, Van der Spiegel J, Piazza G, 1.05-GHz CMOS ...
  • Y.-H. Cho, A. P. Pisano, and R. T. Howe, "Viscous ...
  • M. Christen, "Air and gas damping of quartz tuning forks, ...

Research Info Management

Certificate | Report | من نویسنده این مقاله هستم

اطلاعات استنادی این Paper را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

Scientometrics

The specifications of the publisher center of this Paper are as follows:
Type of center: Azad University
Paper count: 4,063
In the scientometrics section of CIVILICA, you can see the scientific ranking of the Iranian academic and research centers based on the statistics of indexed articles.

New Papers

Share this page

More information about COI

COI stands for "CIVILICA Object Identifier". COI is the unique code assigned to articles of Iranian conferences and journals when indexing on the CIVILICA citation database.

The COI is the national code of documents indexed in CIVILICA and is a unique and permanent code. it can always be cited and tracked and assumed as registration confirmation ID.

Support