علی مرادی باشکند - پژوهشگران جوان و نخبگان باشگاه، دانشگاه آزاد اسلامی واحد ایلخچی
نازلی زرگرپور - پژوهشگران جوان و نخبگان باشگاه، استاد دانشگاه آزاد اسلامی واحد ایلخچی، ایران
سالار مشارکش بارنجی - دانشگاه شیراز

در این مقاله توسعه یک دستگاه پیزوالکتریک که قادر به تجزیه و تحلیل سیگنال های ورودی و تبدیل آنها به خروجی سیگنال الکتریکی بدون منبع قدرت خارجی را با تقلید از عملکرد گوش انسان در یک محدوده فرکانس قابل شنیدن را دارد. پاسخ مکانیکی و الکتریکی ، میکرو الکترو مکانیک(MEMS)اکه بر روی ویفر های سیلیکونی شکل دایره که از طریق نرم افزار comsol شبیه سازی شده ودر نهایت، و ویژگی های مکانیکی و الکتریکی آن اندازه گیری می شود.. وبا بررسی تغییر وضعیت دیافراگم شکل دایره با ماده های (PZT,ZNO,ALN,Quartz) و رصد عملکرد سنسور، راه کارهایی جهت افزایش حساسیت بالا حسگر ارایه می شود.و نهایت از ماده های پیزو الکتریک ( PZT,ZNO,ALN,Quartz ) یکی از ماده به عنوان عملکرد بهترین برای استفاده در شنوای پزشکی انتخاب می شود.

سنسور، میکروالکترومکانیک(MEMS) ،ماده های(PZT,ZNO,ALN,Quartz) ، پیزوالکتریک