تحلیل ارتعاشات میکروتیرهای سیلیکونی و آلومینیومی با در نظر گرفتن اثر اینرسی دورانی

یکی از کاربردهای تحلیل ارتعاشی میکروتیرها در حسگرهای شیمیایی و مکانیکی و به منظور تشخیص ذرات بسیار کوچک شیمیایی و بیولوژیکی می باشد. به این منظور همواره تحلیل دقیق و حساس میکروتیرها مورد نظر قرار می گیرد اما معمولا در بیشتر تحقیق های انجام شده، از اثرات اینرسی دورانی چشم پوشی شده است در حالی که این اثرات می تواند در مقیاس های کوچک، فرکانس تشدید و دقت حسگرها را تغییر دهد. در این پژوهش، بر اساس معادلات حاکم بر تیر اویلر-برنولی، تغییر فرکانس تشدید میکروتیر به دلیل جذب ذرات بسیار کوچک، محاسبه می گردد. برای افزایش دقت پاسخ های فرکانسی، اثر اینرسی دورانی نیز مورد نظر قرار می گیرد و برای جنس های مختلف میکروتیرهای یک سر گیردار از جمله سیلیکون و آلومینیوم این تحلیل انجام می شود. نتایج به دست آمده نشان می دهد که در نظر گرفتن اینرسی دورانی باعث کاهش فرکانس تشدید میکروتیر می گردد که این کاهش قابل چشم پوشی نمی باشد.

Keywords:

اینرسی دورانی , ارتعاشات , میکروتیر , حسگر , سیلیکون , آلومینیوم