بررسی رفتار ترمومکانیکی میکروسوییج های حرارتی

در این پژوهش تجزیه و تحلیل عملکرد مکانیکی میکروتیر دو لایه که یک نمونه از سیستم- های میکروالکترومکانیکی می باشد، مورد بررسی قرار گرفته است. این میکروتیر، از دو لایه با خواص حرارتی متفاوت تشکیل شده است که در اثر حرارت و انبساط به صورت عرضی خیز پیدا می کند.اندازه این خیز مرتبط با تغییر دمای محل نصب آن است. با اندازه گیری خیز این تیر می توان دمای محیط اطراف را محاسبه نمود و یا عملکرد خاصی را فعال کرد. براین اساس به رابطه دقیقی بین دما و خیز تیر نیاز است که هدف کار حاضر تعیین اندازه خیز تیر با تغییرات دما می باشد. این تیر با نظریه اولر-برنولی مدل شده و با نوشتن معادلات انرژی و استفاده از اصل کمینه انرژی پتانسیل معادله ی خیز استاتیکی استخراج وحل خواهد شد

Keywords:

نظریه کلاسیک , اصل کمینه انرژی پتانسیل , میکروتیر دو لایه , معادلات انرژی