CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

بررسی ویزگی های اپتیکی و الکتریکی لایه های نازک نیتریدمس Cu3N لایه نشانی شده به روش کندو پاش مگنترونی واکنشی DC

عنوان مقاله: بررسی ویزگی های اپتیکی و الکتریکی لایه های نازک نیتریدمس Cu3N لایه نشانی شده به روش کندو پاش مگنترونی واکنشی DC
شناسه ملی مقاله: ICOPTICP15_099
منتشر شده در پانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران در سال 1387
مشخصات نویسندگان مقاله:

حسن بیدادی - گروه حالت جامد و الکتونیک ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تبریز ،
بیان کریمی - گروه حالت جامد و الکتونیک ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تبریز
فرامرز هادیان - گروه حالت جامد و الکتونیک ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تبریز
علی رحمتی - گروه حالت جامد و الکتونیک ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تبریز

خلاصه مقاله:
در این کار تجربی لایه های نازک نیتریدمس به روش کندو پاش مگنترونی واکنشی DC بر روی زیر لایه های شیشه ای نهشته شده اند . برای نهشت لایه ها آهنگ شارش آرگن در sccm25 ثابت و آهنگ شارش نیتوزن از sccm15-2/5 تغییر داده شدهاند . آنالیز پراش اشعه ایکس نشان می دهد که فیلم های نیترید مس از طریق عملیات حرارتی در دمای c200 تجزیه می شوند و بررسی های آنالیز UV/VIS/NIR نشان می دهد ککه مقدار گا اپتیکی لایه های نیترید مس در رنجی از 0/8-1/8eV تغییر می کند . این نتایج نشان میدهد که ماده نیترید مس دارای یک پتانسیل عالی برای استفاده در وسایل انبارنده اپتیکی یکبار قابل نوشتن (تک رایت ) می باشد

کلمات کلیدی:
کندو پا مگنترونی واکنشی ، عملیات حرارتی ، گاف اپتیکی ، انبارنده اپتیکی یکبار قابل نوشتن (تک رایت )

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/65033/