اندازه گیری ضخامت لایه های نازک با استفاده از پراش فرنل در بازتاب
Publish place: 15th Iranian Conference on Optics and Photonics
Publish Year: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 4,638
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOPTICP15_132
تاریخ نمایه سازی: 10 دی 1387
Abstract:
دراین مقاله روش اندازه گیری ضخامت لایه های نازکی که به صورت پله در:آمده باشند با استفاده ازپراش فرنل ازپله دربازتاب مطالعه شده است دراین مطالعه با استفاه ازدوطول موج 532و 633 نانومتر چند ضخامت درگستره چندین نانومتر تا 600 نانومتر اندازه گیری شده است دقت اندازه گیری درحدود 5 نانومتر است این روش باری لایه های با ضخا مت بیش ازطول موج نیزقابل استفاده است انجام روش ساده است وامکان اندازه کیری درزاویه های فرود مختلف دقت و اطمینان ازنتیجه را بطور چشمگیری افزایش می دهد .
Authors
ایمان معدل حقیقی
دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
محمد تقی توسلی
دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
خسرو حسنی
دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :