ساخت لایه نازک DLC به روش CVD بر روی زیر لایه استیل و بررسی آن توسط طیف سنجی رامان

در این مقاله ما تولید یک نمونه DLC بر روی زیر لایه ای از جنس استیل به روش CVD را گزارش می نماییم. لایه های تولید شده به کمک طیف سنجی پس پراکندگی میکرو رامان مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج طیف سنجی رامان نشان داده است که مشخصه اصلی DLC وجود دو قله کوهانی شکل متصل به هم می باشد. همچنین، نحوه رشد و تشکیل لایه الماس گونه تشریح شده است. با کمک عکس های گرفته شده میکروسکپی از سطح نمونه، فرآیند شکل گیری لایه ای از کربن الماس گونه نشان داده شده است

Keywords:

رسوب گذاری بخار شیمیایی , طیف سنجی رامان , کربن الماس گونه , لایه نازک