مجید دوستی - گروه برق و الکترونیک، دانشکده فنی و مهندسی، واحد کرمانشاه، دانشگاه آزاد اسلامی، کرمانشاه، ایران
محمد مهدی کارخانه چی - استادیار و عضو هیات علمی، گروه برق و الکترونیک، دانشگاه رازی استان کرمانشاه

سیستم میکروالکترومکانیکی (MEMS) یک تکنولوژی است، که قادر به ساخت دسته ای از ساختارها، دیویس ها و سیستم های مکانیکی کوچک شده است. همچنین این دستگاه ها را می توان تلاشی برای بهره برداری گسترش فن های توسعه یافته ساخت در صنعت مدار مجتمع برای اضافه کردن عناصر مکانیکی مانند تیرها، چرخ دنده ها، دیافراگم ها و فنرها، به مدارات الکتریکی و تولید میکرو سیستم یکپارچه برای ادراک و کنترل جهان فیزیکی در ربات های صنعتی دانست. این سیستم ها یکی از فناوری های نوید بخش قرن بیست و یکم هست، که انتظار می رود بتواند در محصولات صنعتی، تجاری و مصرفی تحول بزرگی ایجاد نماید. این سیستم ها، وسایل میکرونی هستند که می توانند بر محیط ماکرو اثر کنند سیستم های میکرو الکترومکانیکی یک تکنولوژی تولیدی است که با استفاده از آن می توان دستگاه های مجتمع بسیار ریز را که شامل قطعات الکترونیکی و مکانیکی هستند، به وجود آورد. در این مقاله با بررسی قطعات طراحی شده MEMS و طراحی یک مدار الکترومکانیکی در ابعاد MEMS بیانگر امکان طراحی بردهای الکترومکانیکی در ابعاد MEMS برای ربات های صنعتی هست.

میکرو الکترومکانیکی، ربات