حمیدرضا دهقانپور - دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر ، تهران
پرویز پروین - ۱دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر ، تهران
بتول سجاد - گروه فیزیک دانشگاه الزهرا ، تهران

اگر لیزر کانونیUVدر مجاورت گازSF5بر سطح شیشه بتابد و نقطه کانونی در نزدیکی سطح باشد به دلیل پدیده نور کندگی از سطح شیشه اکسیژن و الکترونهای پر سرعت به مولکولهای SF6برخورد کرده به دلیل سطح مقطع بزرگ گسست، SF6رابرانگیخته یا می شکنند و یون های فلورین تولید می کنند و یونهای فلورین به سطح شیشه برخورد کرده و میکرو ساختار منظمی را تولید می کنند.در حالیکه تابش کانونی لیزرUVدر اتمسفر گازهای فاقد اتم های هالوژن باعث کندگی شیشه می شود. در مجاورتSF6کندگی قابل توجهی روی نمی دهد وایجاد میکرو ساختارخود انگیخته اتفاق می افتد. خواص اپتیکی سطح شیشه میکروساختار شده توسط لیزر تفاوت زیادی با این ویژگی ها در شیشه معمولی دارد.

میکروساختار، شیشهSF6لیزر اگزایمرArF