بررسی خواص حسگری لایه های نازک ZnO تولید شده به روش سل ژل -نسبت به گاز متان

امروزه با توجه به انتشار و پخش گازهای خطرناک، کنترل و ایمن سازی محیط از وجود این گونه گازها اهمیت ویژه ای یافته است این منظور حسگرهای اکسید فلزی مورد استفاده قرار می گیرند. به دلیل مشخصات متنوع، لایه های نازک ZnO گزینه ی خوبی برای تشخیص گاز متان هستند. در این پژوهش خواص حسگری لایه های نازک ZnO نسبت به گاز متان مورد بررسی قرار گرفت روش سل - ژل، برای تولید لایه های نازکZn بازپخت شده در دمای 500 درجه ی سانتی گراد با جریان ثابت اکسیژن به کار رفت. بررسی ها کامل مورفولوژی شیمیایی و ساختاری روی نمونه با تحلیل میکروسکوپ الکترونی گسیل میدانی اثر میدانی FESEM و پراش اشعه ایکس XRD انجام شد مقاومت الکتریکی DC نمونه ها با استفاده از یک ابزار پروب چهار نقطه ای اندازه گیری شد در حالیکه، یک ابزار اثر هال برای اندازه گیری های اثر هال به کار رفت. در نهایت دمای کار بهینه ی 350 درجه ی سانتیگراد به دست آمد.

Keywords:

لایه های نازک , ZnO , روش سل - ژل , خصوصیات حسگری , گاز متان