مریم خوارزمی - دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد بندرعباس، گروه مهندسی برق، بندرعباس، ایران
فرشاد بابازاده - استادیار، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری، دانشکده مهندسی برق، تهران، ایران

در این مقاله یک میکروتشدیدگر آکوستیکی حجمی لایه نازک FBAR با استفاده از فناوری MEMS طراحی و شبیه سازی شده است که می تواند در مد برشی با فرکانس تشدید GHz 9526 / 1 ارتعاش نماید. از این میکروتشدیدگر میتوان به عنوان یک بیوسنسور برای تشخیص و اندازه گیری محرک های زیستی بهره جست. ابعاد این بیوحسگر µm 833×683×248/2 می باشد. با قراردادن یک لایه پلیمر PDMS بر روی لایه حساس ساختار با ضخامت 1 تا 3 میکرومتر، به ترتیب شیفت فرکانسی های 30، 40 و 61 مگاهرتز به دست آمده است. همچنین با جایگذاری مواد مختلف به جای لایه PDMS و با ضخامت های مختلف، میزان حساسیت بیوسنسور سنجیده شده است. در نهایت، با توجه به اثر بارگذاری جرم مواد بر روی لایه جاذب ساختار و ایجاد شیفت فرکانس تشدید ساختار FBAR یک مقایسه کلی انجام گرفته است. شبیه سازی های انجام شده در این پژوهش با استفاده از نرم افزار COMSOL Multiphysics صورت پذیرفته است.

میکروتشدیدگر، حسگر زیستی، شیفت فرکانسی، FBAR ، MEMS