ندا خانی اسفندآباد - دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد علوم و تحقیقات یزد، گروه مهندسی مکانیک یزد، ایران
سیدامیرعباس علومی - استادیار، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد یزد، گروه مهندسی مکانیک، یزد، ایران.
سیدعلی آقا میرجلیلی - استادیار، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد علوم و تحقیقات یزد، گروه مهندسی مکانیک، یزد، ایران.

در این تحقیق خواص تشعشعی ساختارهای چندلایه ای، شامل زیرلایه سیلیکون آلاییده کم با پوشش های غیرفلزی نیتریدسیلیکون و دی اکسیدسیلیکون و پوشش های فلزی، طلا،نقره و مس، در دمای 02 درجه سانتیگراد و اشعه ورودی پلاریزه، بررسی شد. از روش ماتریس انتقال جهت محاسبه خواص تشعشعی ساختارهای چند لایه ای و بیان های تجربی برای ثابت های نوری سیلیکون آلاییده کم استفاده شد. ضریب عبور پوشش فلزی به علت کم بودن عمق نفوذ این پوشش ها و ضریب بازتاب بالا، در حالت قطبی نوعsونوع p وغیرقطبی، صفر است. در پوشش های غیرفلزی، به علت بزرگ تر بودن عمق نفوذ موج الکترومغناطیس، ضریب عبور افزایش می یابد. به طور کلی نتایج بدست آمده نشان می دهند که در پوشش های غیرفلزی ضریب عبور قطبش نوعpبزرگتر ازقطبش نوع s می باشد. ضریب بازتاب پوشش های فلزی نسبت به پوشش های غیرفلزی به طور چشمگیری زیاد بوده به طوریکه می توان از پوشش فلزی در صنایعی که نیاز به بازتاب زیاد است، استفاده نمود. نتایج نشان می دهد، اگرچه زیرلایه سیلیکون در دمای اتاق و بازه طول موج0/4تا0/84 میکرومتر، دارای ضریب جذب ناچیز و در نتیجه ضریب گسیل ناچیز است، ولی پوشش نقره منجر به جذب و درنتیجه مقداری گسیل گردید. همچنین تغییر قطبش اشعه ی ورودی ازنوع sبه pمنجربه افزایش ضریب گسیل می شود. نتایج نشان می دهد، نقره نسبت به طلا و مس بیشترین ضریب بازتاب را دارا می باشد. در زاویه تابش صفر )نرمال(، خواص تشعشعی برای هر دو حالت اشعه ورودی قطبی نوعs وقطبی نوع pیکسان می باشد.

خواص تشعشعی، لایه نازک، سیلیکون آلاییده کم، قطبی سازی اشعه ورودی، فرمولاسیون همدوس