مجتبی صادقی - دانشگاه شیراز
رحیم غیور - دانشگاه شیراز
محمود کریمی - دانشگاه شیراز

در این مقاله ابتدا به بررسی ساختار و معادلات حاکم بر عملکرد دسته ای از ادوات MEMS شامل فیلترهای SAW برپایه امواج آکوستیکی سطحی در مواد پیزوالکتریک، پرداخته و سپس یک فیلتر با مشخصات مطلوب طراحی و تحلیل می گردد. فیلترهای SAW به دلیل داشتن قابلیت اطمینان بالا و پایداری به صورت گسترده در سیستم های مخابراتی فرکانس بالا مورد استفاده قرار می گیرند. در این پژوهش به کمک مدل های ارائه شده، عملکرد الکترودهای شانه ای مورد بررسی قرار گرفته و تاثیر خواص ماده پیزوالکتریک مورد استفاده، بررسی و ارزیابی می شود. پس از طراحی فیلتر، ایده افزودن یک لایه حساس بین الکترودهای شانه ای ورودی و خروجی مورد بررسی قرار می گیرد. با تغییر طول این لایه شاهد کاهش میزان تلف و پهنای باند فیلتر خواهیم بود. شبیه سازی فیلتر با استفاده از نرم افزارهای COMSOL ،MATLAB و Multiphysics انجام شده است.

ادوات MEMS، امواج آکوستیکی سطحی، پیزوالکتریک، فیلتر SAW ، گوشی موبایل