مطالعه اصلاح سطح شیشه توسط لیزر اگزایمر در مجاورت گاز SF6
Publish place: 10th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,100
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE10_006
تاریخ نمایه سازی: 1 فروردین 1388
Abstract:
چنانچه تپ های متعدد لیزر اگزایمر ArF پس از کانونی شدن از میان محیط گازی SF6 عبور کرده وو بر سطح شیشه فرود آیند، برسطح شیشه تغییراتی ایجاد می شود که به صورت ساختاری منظم و تکراری بوده که عنصر تکرار شوندن آن ستون هایی در ابعاد میکرومتر هستند. ضمناً در این فرایند شکست مولکول هایه SF6 هستیم که به علت متفاوت بودن انرژی فوتون های تشکیل دهنده پرتو لیزر با اختلاف ترازهای انرژی مولکول های SF6، انتظار می رود این شکست مولکولی بر اثر برخورد ذرات کنده شده از سطح شیشه توسط لیزر با مولکول های گاز، روی داده باشد. پاره های مولکول های SF6، شکسته شده در سطح شیشه نفوذ کرده و با سطح واکنش شیمیایی می دهند. در این مقاله ضمن بررسی مورفولوژی سطح شیشه، چگونگی نفوذ ذرات در سطح شیشه و خواص اپتیکی سطح اصلاح شده مورد مطالعه قرار گرفته است.
Keywords:
Authors
حمیدرضا دهقانپور
دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
پرویز پروین
دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :