علی شانقی - دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه تربیت مدرس
علیرضا صبور روح اقدم - دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه تربیت مدرس
شاهرخ آهنگرانی - گروه مهندسی مواد، سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
هادی مرادی - گروه مواد پیشرفته، مهام

پوشش کاربید تیتانیوم به دلیل دارا بودن مقاومت سایشی عالی، نقطه ذوب و سختی بالا، مقاومت به خوردگی عالی ومقاومت به فرسایش خوب، امروزه به عنوان زیادی در صنایع مختلف مورد استفاده قرار می گیرد. با این حال نیمه پایدار بودن ترکیب کاربید تیتانیوم یکی از پارامترهای محدود کننده استفاده از ترکیبات کاربید تیتانیوم اعمال شده با روش پلاسما CVD است. در این پروژه ها با استفاده از روش PACVD یک لایه نازک کاربید تیتانیوم در دمای 480 درجه سانتیگراد بر روی زمینه فولادی اعمال مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان دهنده، تشکیل یک لایه همگن و یکنواخت کاربید تیتانیوم (TiCX) با اندازه ذرات در محدوده 20 تا 40 نانومتر است.

کاربید تیتانیوم (TiCx) ، پلاسما CVD، پوشش نانو ساختار، رامان