مطالعه سطح بلور نیوبات لیتیم نفوذ دهی شده توسط روی به منظور موجبرهای نوری
Publish place: 10th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,765
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE10_150
تاریخ نمایه سازی: 1 فروردین 1388
Abstract:
در این تحقیق به منظور دستیابی به بهینه شرایط نفوذ حرارتی روی در زیرلایه نیوبات لیتیم، از فرایند سه مرحله ای استفاده شد. ابتدا انباشت روی به روش کندوپاش مگنترون DC با ضخامت 150nm بر سطح بلور نیوبات لیتیم به دمای (127c) 400k ، سپس حرارت دهی مختصر و اکسیداسیون لایه ی روی انباشتی در دمای 450C به مدت 10 دقیقه و در پایان ، نفوذ حرارتی روی در بازه ای از دما و زمان های مختلف. نتایج آنالیزهاه نشان داد که نفوذ کامل روی در زیرلایه، پس از 3h حرارت دهی در دمای 750C رخ داد که شرایط بسیار مطلوبی است. مطالعه ی سطح نمونه های نفوذدهی شده توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی حاکی از آن بود که نفوذ کامل در شرایطی رخ داده که ساختار لایه انباشتی از حالت جزیره ای به صورت همگن ریزدانه درآمده و منجر به تسهیل نفوذ شده است. طیف های حاصل از پراش اشعه X نیز حاکی از آن بود که ماهیت تک بلوری زیر لایه پس از نفوذ حفظ شده است. همچنین با افزایش دما فازهای جددی سطحی ظهور یافته که کلیه آنها در شرایط نفوذ کامل ناپدید شد.
Keywords:
Authors
لیلا عقلی مقدم
گروه فیزیک دانشگاه اراک
غلامرضا نبیونی
گروه فیزیک دانشگاه اراک
اکبر زنده نام
گروه فیزیک دانشگاه اراک
علی اکبر فراشیانی
گروه مخابرات نوری، مرکز تحقیقات مخابرات ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :