بررسی عوامل موثر بر ساختار و خواص کریستالوگرافی لایه های نازک تیتانات زیرکونات سرب (PZT) برروی زیرلایه سیلیکون مورد استفاده در سیستم های میکروالکترومکانیک (MEMS)
Publish place: 7th Iranian Ceramic Congress
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,617
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICC07_013
تاریخ نمایه سازی: 10 فروردین 1388
Abstract:
امروزه ازتکنولوژی ساخت لایه های نازک بصورت گسترده در ساخت سیستم های میکروالکترومکانیک (MEMS) استفاده می شود. سرامیک پیزوالکتریک تیتانات زیرکونات سرب (ZPT) با فرمول Pb(Zrx,Ti1-x)O3 بصورت لایه نازک به ضخامت یک میکرون بر روی زیرلایه ای از Si/Ti/Pt و به روش کندوپاش مغناطیسی RF راسب می شود. کاربرد لایه نازک تیتانیوم بعنوان عامل چسبنده بین لایه پلاتین و زیرلایه سیلیکون می باشد . لایه نازک پلاتین نیز بعنوا ن الکترود پایینی پس از عملیات پیش آنیل در جهت کریستالوگرافی ( 111 ) رشد نموده که با آنالیز XRD قابل اثبات است . انجام عملیات حرارتی آنیل نهایی بر روی مجموعه چند لایه ای سیلیکون منجر به ایجاد ساختارکریستالی پروفسکیت در لایه PZT شده و با توجه به اینکه ثابت شبکه آن در جهت ( 111 ) بسیارنزدیک به لایه ( 111)Pt می باشد، رشد ساختار کریستالی PZT نیز در راستای این جهت مرجح انجام می شود . اما در عین حال انجام عملیات آنیل نهایی، منجر به تبلور مجدد پلاتین و نیز ایجاد حفرات ریز بر روی لایه پلاتین می شود که متعاقب آن تخریب در لایه های نازک پلاتین و PZT و کاهش خواص الکتریکی PZT را در پی خواهد داشت . در این تحقیق اثر عوامل مختلف دما و زمان آنیل بر ساختار و خواص PZT مورد بررسی قرار گرفت و مشخص گردید که عملیات انیل نمونه های Si/Ti(10nm)/Pt(100nm)/PZT در دمای 650c به مدت 30 دقیقه بهترین نتایج را برای خواص کریستالی و مورفولوژی سطحی PZT بدست می آورد.
Keywords:
Authors
علی کوچک زاده
پژوهشگاه مواد و انرژی
اسکندر کشاورز علمداری
پژوهشگاه مواد و انرژی دانشکده مهندسی مواد دانشگاه صنعتی امیرکبیر،
عبدالغفار برزگر
استادیار دانشکده مهندسی مواد دانشگاه شیراز
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :