فایزه ایمانی - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
بهرام عزیز الله گنجی - استاد دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
رمضانعلی جعفری تلوکلای

در این مقاله ، سنسور فشار داخل جمجمه پیزورزیستیو میکروالکترومکانیکی (MEMS (با هدف افزایش حساسیت ،طراحی و شبیه سازی شده است. طراحی این سنسور برای رنج فشار (MPa 03.0-0 (mmhg 225-0 است.در طراحی سنسور ، جنس و ساختار واندازه پیزورزیستورها بررسی شده است. بر اساس نتایج شبیه سازی و حفظ خطی بودن بسیار بالا، حساسیت mmhg/µv 4885.221 بدست امده است که نسبت به کارهای گذشته بسیار بهبود یافته است.

سنسور فشار ، فشار جمجمه ،زیست سازگار ،میکروالکترومکانیکال