طراحی و ساخت آینۀ با بازتاب بالا در طول موج 193nm برای لیزر اگزایمر
Publish place: 16th Iranian Conference on Optics and Photonics (ICOP2010)
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,127
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOPTICP16_031
تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1388
Abstract:
افزایش استفاده از لیزر اگزایمر فلورید ارگون 193nm ArF در میکرولیتوگرافی، کاربردهای جراحی و کاربردهای دیگر منجر به افزایش نیاز به مولفه های اپتیکی و لایه نشانی های فیلم نازک شده است. آینۀ لیزر اگزایمر نقش مهمی در بازدهی و موثر بودن لیزر دارد. در این مقاله به چگونگی طراحی و ساخت آینه های با بازتاب بالا در طول موج 193nm لیزر اگزایمر می پردازیم. یکی از ترکیب هایی که در طول موج 193nm مناسب است MgF2,Al2O3 است، که دارای جذب پایین و اختلاف زیاد در ضرائب شکست هستند.
Keywords:
Authors
زهرا شفیعی زاده
گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه ، دانشگاه گیلان، رشت
هاشم حجتی راد
پژوهشکده لیزر و اپتیک، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای ، تهران
محمدهادی ملکی
پژوهشکده لیزر و اپتیک، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای ، تهران
سعید باطبی
گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه ، دانشگاه گیلان، رشت
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :