محمدمهدی مجیداف - آزمایشگاه لیزرهای قدرت گازی پژوهشکده لیزر دانشگاه شهید بهشتی
فیصل کروشاوی - آزمایشگاه لیزرهای قدرت گازی پژوهشکده لیزر دانشگاه شهید بهشتی
علی پناه پور - آزمایشگاه لیزرهای قدرت گازی پژوهشکده لیزر دانشگاه شهید بهشتی
حمید لطیفی - آزمایشگاه لیزرهای قدرت گازی پژوهشکده لیزر دانشگاه شهید بهشتی

دراین مقاله به بررسی نظری سیستم تطبیق امپدانس و یکنواخت سازی توان و ولتاژ در لیزرهای CO2 با برانگیزش RF پرداخته شده است. جهت تطبیق سیستم امپدانس از المانهای سلفی و خازنی و برای غلبه بر نایکنواختی توزیع توان و ولتاژ از القاگرهایی در فواصل معین از ورودی RF استفاده شده است. در شبیه سازی انجام شده به کمک تئوری خطوط انتقال، نایکنواختی توان و ولتاژ در طول الکترودها به 1.5% کاهش یافته است.

لیزر CO2، تطبیق امپدانس، تئوری خطوط انتقال، یکنواخت سازی ولتاژ