CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

تهیه لایه های نازک نیترید مس Cu3N به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی dc و بررسی خواص آنها با تغییر توان تخلیه دستگاه

عنوان مقاله: تهیه لایه های نازک نیترید مس Cu3N به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی dc و بررسی خواص آنها با تغییر توان تخلیه دستگاه
شناسه ملی مقاله: ICOPTICP16_050
منتشر شده در شانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران در سال 1388
مشخصات نویسندگان مقاله:

بیان کریمی - گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز، بلوار ۲۹ بهم
حسن بیدادی - گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز، بلوار ۲۹ بهم
فرامرز هادیان

خلاصه مقاله:
دراین کار تجربی لایه های نازک نیترید مس به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی dc برروی زیرلایه های شیشه ای تحت توانهای تخلیه الکتریکی متفاوت و دمای ثابت زیرلایه نهشته شده اند. در این جا وابستگی چگالی، مقاومت ویژه الکتریکی و گاف اپتیکی فیلمها به توان تخلیه نشان داده شده است و علل تغییرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفته است.

کلمات کلیدی:
فیلمهای نازک نیترید مس، کندوپاش مگنترونی واکنشی، توان تخلیه، گاف اپتیکی

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/73595/