آنالیز نمایه عمق لایه های میکرومتری با استفاده از روش طیف سنجی تخلیه القایی لیزری (LIBS) و مقایسه آن با نتایج شبیه سازی
Publish place: 16th Iranian Conference on Optics and Photonics (ICOP2010)
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,809
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOPTICP16_248
تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1388
Abstract:
در این مقاله به مطالعه روش طیف سنجی تخلیه القایی لیزری (LIBS) به منظور ضخامت سنجی لایه مس بر زیرلایه آلومینیوم پرداخته میشود. هارمونیک چهارم لیزر Nd:YAG با طولموج 266 نانومتر و طول پالس 5ns به منظور ایجاد کندگی در نمونه ها به کارمیرود. اثر انرژیهای مختلف لیزر و ضخامت لایه بر نرخ کندگی و تفکیک پذیری عمق مورد بررسی قرار میگیرد. نمایه های عمق بهنجار شدهی شدت طیفی (NI) با مورد غلظت بهنجار شده (NC) مقایسه میگردند. به منظور شبیه سازی آنالیز نمایه عمق نمونه های فلزی، مدل کندگی لیزری چندپالسی در سه بعد معرفی میگردد. ضریب همبستگی بالای 0.98 ، بین نمایه های عمق حاصل از مدل و آزمایشات که بر مبنای روش NC بدست آمدند ملاحظه گردید.
Keywords:
Authors
هانیه افخمی اردکانی
تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما
عاطفه مموزاده
تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما
سیدحسن توسلی
تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر و پلاسما
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :