ایجاد طرح های میکرونی روی نمونه های فلزی و غیرفلزی با استفاده از لیزر پالسی اگزایمر
Publish place: 16th Iranian Conference on Optics and Photonics (ICOP2010)
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,049
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOPTICP16_348
تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1388
Abstract:
در این مقاله باتابش نور لیزر اگزایمر پالسی، طرح هایی با ابعاد میکرونی برروی نمونه های فلزی و غیرفلزی ایجاد نموده ایم. مراحل انجام کار به سه بخش لایه نشانی، تولید ماسک و نوردهی نمونه تقسیم شده است. درابتدا به روش تبخیر حرارتی لایه ای از مس روی زیرلایه قرار گرفته است. سپس طرح مورد نظر در ابعاد میلی متری روی لایه مسی ایجاد شده است. در انتها با تصویر کردن طرح ماسک روی نمونه ، طرح های میکرونی روی نمونه های مختلف ایجاد شده است.
Keywords:
Authors
نجیبه فتح اله زاده
دانشگاه ولی عصر رفسنجان، گروه فیزیک
مهدی سویزی
دانشگاه ولی عصر (عج) رفسنجان، گروه فیزیک
محمد خان زاده
دانشگاه ولی عصر رفسنجان، گروه فیزیک
سیدمحمدباقر مرعشی
دانشگاه ولی عصر(عج) رفسنجان، گروه فیزیک
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :