ساختار جدید حسگر شتاب MEMS با حساسیت پایین نسبت به تغییرات دما

Publish Year: 1396
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 428

This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

NEEC04_079

تاریخ نمایه سازی: 11 شهریور 1397

Abstract:

این تحقیق با هدف کاهش اثرات دما بر روی عملکرد شتاب سنج خازنی MEMS ارایه شده است و سعی شده است با تمرکز بر روی تغییر معماری ساختار شتاب سنج بر پایه تحلیل حساسیت خازنی و فرکانسی، پارامترهایحساس و تاثیر گذار در طراحی ساختارهای جدید مورد استفاده قرار گیرد.. نتایج شبیه سازی نشان می دهند که تغییرات خازن خروجی و فرکانس تشدید به ترتتیب برابر 0.0062 میکروفاراد و 0.11 هرتز در بازه دمایی 40- تا 60 درجه سانتیگراد و شتاب 50(g) می باشد با توجه به اهمیت اثر دما بر روی دقت حسگر شتاب، این تغییرات ساختاری جهت کاهش اثر دما مورد توجه و استفاده قرار می گیرد.

Authors

هادی خزایی

گروه مهندسی برق، دانشکده مهندسی برق،دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر

سید محمد علی ریاضی

استادیارگروه مهندسی برق، دانشکده فنی،دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر