هادی خزایی - گروه مهندسی برق، دانشکده مهندسی برق،دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر
سید محمد علی ریاضی - استادیارگروه مهندسی برق، دانشکده فنی،دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر

این تحقیق با هدف کاهش اثرات دما بر روی عملکرد شتاب سنج خازنی MEMS ارایه شده است و سعی شده است با تمرکز بر روی تغییر معماری ساختار شتاب سنج بر پایه تحلیل حساسیت خازنی و فرکانسی، پارامترهایحساس و تاثیر گذار در طراحی ساختارهای جدید مورد استفاده قرار گیرد.. نتایج شبیه سازی نشان می دهند که تغییرات خازن خروجی و فرکانس تشدید به ترتتیب برابر 0.0062 میکروفاراد و 0.11 هرتز در بازه دمایی 40- تا 60 درجه سانتیگراد و شتاب 50(g) می باشد با توجه به اهمیت اثر دما بر روی دقت حسگر شتاب، این تغییرات ساختاری جهت کاهش اثر دما مورد توجه و استفاده قرار می گیرد.

؛ MEMS، تحلیل المان محدود