شبیه سازی دمایی حسگر شتاب خازنی MEMS محور Z

Publish Year: 1396
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 378

متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

NEEC04_080

تاریخ نمایه سازی: 11 شهریور 1397

Abstract:

هدف از انجام این تحقیق، بررسی و شبیه سازی دمایی خازن خروجی و فرکانس تشدید ساختار پیشنهادی شتاب سنج خازنی MEMS با استفاده از نرم افزار Comsol Multiphysic 5.2 می باشد. نتایج حاصل از شبیهسازی نشان می دهد که خازن خروجی و فرکانس تشدید مرتبه اول ساختار، به ترتیب دارای 0.0036 میکروفاراد و 0.7 هرتز تغییرات در بازه دمایی 40- تا 60 درجه سانتیگراد می باشد. همچنین ساختار دارای درصد تغییراتی برابر با 0.003 میکروفاراد و 0.00045 هرتز نسبت به دمای مرجع می باشد و از این نظر دارای پایداری دمایی بسیار خوبی می باشد.

Authors

هادی خزائی

گروه مهندسی برق، دانشکده مهندسی برق، دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر

سید محمد علی ریاضی

استادیار گروه مهندسی برق، دانشکده فنی، دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر