شبیه سازی دمایی حسگر شتاب خازنی MEMS محور Z
Publish place: چهارمین کنفرانس ملی مهندسی برق ایران
Publish Year: 1396
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 378
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NEEC04_080
تاریخ نمایه سازی: 11 شهریور 1397
Abstract:
هدف از انجام این تحقیق، بررسی و شبیه سازی دمایی خازن خروجی و فرکانس تشدید ساختار پیشنهادی شتاب سنج خازنی MEMS با استفاده از نرم افزار Comsol Multiphysic 5.2 می باشد. نتایج حاصل از شبیهسازی نشان می دهد که خازن خروجی و فرکانس تشدید مرتبه اول ساختار، به ترتیب دارای 0.0036 میکروفاراد و 0.7 هرتز تغییرات در بازه دمایی 40- تا 60 درجه سانتیگراد می باشد. همچنین ساختار دارای درصد تغییراتی برابر با 0.003 میکروفاراد و 0.00045 هرتز نسبت به دمای مرجع می باشد و از این نظر دارای پایداری دمایی بسیار خوبی می باشد.
Keywords:
Authors
هادی خزائی
گروه مهندسی برق، دانشکده مهندسی برق، دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر
سید محمد علی ریاضی
استادیار گروه مهندسی برق، دانشکده فنی، دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر