مهدی یگانه - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه تهران
محسن صارمی - دانشیار دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه تهران

در سالهای اخیر نانوساختارها به دلیل خواص مکانیکی، فیزیکی و شیمیایی غیرعادی خود مورد توجه قرار گرفته اند. در این میان رسوب فیزیکی بخار به کمک پرتو الکترونی (Electron Beam Physical Vapor Deposition) کاربردهای در صنایع الکترونیک برای تولید نانوساختارها و پوشش مدار مجتمع پیدا کرده است. در این تحقیق مس توسط رسوب فیزیکی بخار به کمک پرتو الکترونی به روی ویفر سیلیکن p-type 100 و شیشه نشانده شد و مورفولوژی سطحی آن توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی بررسی شد. به کمک تفرق پرتو ایکس عناصر موجود در پوشش ارزیابی گردید. سپس مقاومت به خوردگی و اکسیداسیون پوششهای مزبور سنجیده شد. نتایج به دست آمده حاکی از این بوده که مس نانوساختار پوشش داده شده، دارای خواص خوردگی و اکسیداسیون بهتری نسبت به ورقه مسی می باشد.

رسوب فیزیکی بخار، پرتوالکترونی، نانو، مس، مقاومت به خوردگی، مقاومت به اکسیداسیون