رزوناتور حلقوی پیزوالکتریک و کاربردهای آن در ژیروسکوپ های میکروالکترومکانیکی
Publish place: Second Conference on Energy Infrastructure, Electrical Engineering and Nanotechnology
Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 708
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IRCIVILC02_029
تاریخ نمایه سازی: 13 مهر 1397
Abstract:
در تحقیق حاضر، رفتار هارمونیک و فرکانسی رزوناتور حلقوی ژیروسکوپ های MEMS بر پایه مکانیزم تحریک پیزوالکتریک به کمک نرم افزار CoventorWare مورد تحلیل قرار گرفته اند. در همین راستا شبیه سازی بر روی نمونه های نیترید آلومینیونم (AIN) و تیتانات زیرکونات سرب (PZT) با ساختار پروسکایت صورت پذیرفت. در این روش از مدلسازی المان محدود برای بدست آوردن پاسخ فرکانسی و میزان جابجایی دو نمونه استفاده شد.
Keywords:
Authors
کامران کشاورزدیوکلایی
دانشجوی دکتری نانوالکترونیک - انستیتو رادیوالکترونیک، الکترونیک و اتوماسیون مسکو (دانشگاه فنی)